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新型真空度測(cè)試設(shè)備

更新時(shí)間:2024-05-08

簡(jiǎn)要描述:

新型真空度測(cè)試設(shè)備為準(zhǔn)確測(cè)量,對(duì)每一種真空滅弧室必須有對(duì)應(yīng)的從電離電荷量到真空度推算曲線(xiàn)。

新型真空度測(cè)試設(shè)備

ZKY2000C真空度測(cè)試儀是以單片計(jì)算機(jī)為主控單元,測(cè)試過(guò)程*實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。該儀器在原理上改變了國(guó)內(nèi)外同類(lèi)產(chǎn)品采用電流峰值做標(biāo)定的方法,而采用離子電荷來(lái)做標(biāo)定。這樣,在物理原理上準(zhǔn)確性更高,而且,有效地抑制了測(cè)試過(guò)程中脈沖電源的干擾,使測(cè)試穩(wěn)定可靠。該儀器采用二次采樣的方法扣除由于環(huán)境因素產(chǎn)生的漏電電流,并且在測(cè)量過(guò)程中考慮了*漏氣的真空滅弧室的判別,真正做到了對(duì)安裝于整機(jī)上的真空滅弧室的準(zhǔn)確計(jì)量。

性能特點(diǎn):
1、基于電離電荷的采樣技術(shù)
均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我公司專(zhuān)家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn):在外激勵(lì)電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時(shí),真空滅弧室內(nèi)的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對(duì)應(yīng)關(guān)系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)間接關(guān)系。因此,我公司shou創(chuàng)了基于電離電荷的采樣技術(shù),顯著提高了真空滅弧室的真空度計(jì)量的準(zhǔn)確性。
2、高低壓管型測(cè)試
       本機(jī)另外對(duì)測(cè)試電壓輸出應(yīng)用了兩個(gè)檔位(高壓3萬(wàn)低壓2.5),因此可對(duì)高低壓不同的各類(lèi)管型時(shí)行有效測(cè)試。
3、內(nèi)置國(guó)內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測(cè)量曲線(xiàn)
真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同,當(dāng)內(nèi)部真空度和外加激勵(lì)電源一定時(shí),其放電電荷量是不同的,并且有相當(dāng)?shù)牟町悺闇?zhǔn)確測(cè)量,對(duì)每一種真空滅弧室必須有對(duì)應(yīng)的從電離電荷量到真空度推算曲線(xiàn)。我公司的專(zhuān)家通過(guò)與國(guó)內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠(chǎng)家的密切合作,取得了幾乎國(guó)內(nèi)外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關(guān)系的數(shù)據(jù),通過(guò)數(shù)學(xué)處理,將其特征參數(shù)送入本系列產(chǎn)品。因此,本系列產(chǎn)品內(nèi)置國(guó)內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測(cè)量曲線(xiàn)。這是國(guó)內(nèi)外同類(lèi)產(chǎn)品中僅有的。
4、漏電電流的處理
對(duì)處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室動(dòng)觸頭加高壓靜觸頭端加負(fù)離子電流時(shí),靜觸頭端會(huì)有數(shù)值不等的幾個(gè)微安的漏電電流,此漏電電流即使是同型號(hào)的真空滅弧室也有較大的個(gè)體差異。尤其是對(duì)于裝在整機(jī)上的真空滅弧室,由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電,這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測(cè)性。并且在數(shù)值上與10E—4Pa數(shù)量級(jí)的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用二次起動(dòng)高壓的方法,扣除了漏電電流,保證了無(wú)論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計(jì)量精度。
5、判別*漏氣的真空滅弧室
在本型機(jī)中,通過(guò)高壓擊穿的方式判別真空滅弧室是否*漏氣。
6、完善的輸入保護(hù)電路
當(dāng)真空滅弧室的真空度非常低時(shí),測(cè)量時(shí)真空滅弧室會(huì)被高壓擊穿,瞬間的高壓直接加至負(fù)離子電流采樣電路上,使其承受十分強(qiáng)的電沖擊。采樣電路增加了完備的保護(hù)電路,即使儀器由于輸入端的高壓直接加到負(fù)離子電流采樣端居一時(shí)間,微電腦保護(hù)裝置會(huì)立即起控,使其進(jìn)入保護(hù)狀態(tài),就不會(huì)造成電路嚴(yán)重的損壞。
7、數(shù)據(jù)記錄
       內(nèi)設(shè)微型打印機(jī),可隨時(shí)打印出被測(cè)數(shù)據(jù)。
 
測(cè)試原理
 
利用離子電流在不同真空條件下的漏電流不同,來(lái)測(cè)試鑒別真空滅孤室優(yōu)劣。
將滅弧室兩觸頭拉開(kāi)一定的開(kāi)距,動(dòng)觸頭施力高壓脈沖靜觸頭施加負(fù)離子電流。由于漏電電流非常弱,易于受到外界不同的干擾而降低精度。因此,必須通過(guò)勵(lì)磁線(xiàn)圈繞于滅弧室外側(cè),向線(xiàn)圈通以大電流,從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場(chǎng)來(lái),加速離子流,按比例放大采樣率。
 
第四章  技術(shù)參數(shù)
 
1所測(cè)真空泡:電壓等級(jí)6KV-35KV以上
2測(cè)量范圍:10-5-10-1Pa
3測(cè)量誤差:10-4-10-1Pa中誤差±10%
4測(cè)量分辨率:10-5 Pa
5漏氣的滅弧室在測(cè)量中將發(fā)生電擊穿,本機(jī)處于保護(hù)狀態(tài)。
6允許環(huán)溫:-20℃-50℃,如在0℃以下測(cè)試時(shí)請(qǐng)先將機(jī)器通電20分鐘后再使用。
7空氣濕度:<85%RH
8輸入電源:AC220V±10% 50/60HZ
9外形尺寸:350×320×225mm

產(chǎn)品關(guān)鍵字:新型真空度測(cè)試設(shè)備新型真空度測(cè)試設(shè)備

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